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【集萃网观察】日本智索(Chisso)开发出了能够以喷墨方式喷出高浓度液滴,并以此形成厚绝缘膜的聚酰亚胺树脂类绝缘墨水。此次新开发的墨水在不使用腐蚀喷头的溶剂的情况下,实现了适合喷涂的粘度和高浓度。与以往的光刻方式相比,可以减少工序、提高材料的利用率。
新开发的墨水能够在固体浓度达到25~60wt.%的状态下喷出,因此能够形成绝缘膜所须的厚度;而且,因为不使用沿用至今的溶剂——NMP(N-甲基吡咯烷酮),所以还可使用易于被NMP腐蚀的喷头。由于可以省去以往所需的光掩膜和真空装置,设备投资额可降至1/10以下。
来源:日经BP社